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技術文章

無塵室-防止微粒子污染的四項基本原則

信息來源: www.nbyxzb.cn

　　無塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

無塵室內該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列四項基本原則：

一、不攜入

在無塵室內不攜入微粒子的方法有：

1）作業員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。

4）機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。

5）無塵室中須全程穿戴密閉式**帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

二、不發生

在控制*大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制**大污染源制造機臺的發塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到*小限度應采取以下對策：

1）減少接觸剝離發塵的動作形態；

2）采用磨耗發塵小的材質；

3）采用發塵小的潤滑油；

4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

三、不儲備

若能徹底實施不攜入技術，無塵室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。因此不儲備技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

在*高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有**的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

動線規劃要點：要檢討分析人車路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業者、化學藥品、材料等動線勿集中；無塵車間四周，宜設緩沖區；制造裝置的出入，不要對作業產生大影響。

無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應采用初、中、高效過濾器三級過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。

有些空氣凈化系統的空氣，如經處理仍不能避免交叉污染時，則不能循環使用：固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；放射**品生產區；病原體操作區；工藝過程中產生大量有害物質、揮發性氣體的生產工序；固體口服制劑的顆料、成品、干燥設備所使用的凈化空氣。

所謂空氣過濾器(Air Filter)是指空氣過濾裝置?？諝膺^濾器主要包括有初效過濾器，中效過濾器，高效過濾器及亞高效等型號。各種型號有不同的標準和使用效能，同時它的使用也是相當的廣泛的，同時它的應用也是非常的廣泛的，包括在無塵車間，無塵實驗室，無塵工廠，無塵廠房，潔凈車間都需要安裝空氣過濾器。

而無塵車間：是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。因此不論外在之空氣條件是如何的變化的，室內都能夠俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵車間*主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵車間潔凈度:以單位體積空氣中某粒徑粒子的數量多少來區別的潔凈程度.千級無塵車間,主要過濾大于或等于0.5UM塵埃粒子,其送風量按換氣數一般在50次以上。

無塵車間安裝空氣過濾器的主要作用在于它必須要做到整個車間無塵，那么對于空氣質量的要求自然也很好，無塵空間安裝空氣過濾器有著不同的規格，通常來說，對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，那么就需要采用初、中、高效過濾器三級過濾器;而中效或者高效空氣過濾器宜則需要小于或等于額定風量選用;同時中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節的正壓段;高效或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。

而無塵實驗室安裝空氣過濾器，無塵工廠安裝空氣過濾器，無塵廠房安裝空氣過濾器，潔凈車間安裝空氣過濾器的作用都和無塵車間安裝空氣過濾器是一樣的，另外對于空氣過濾器的選擇標準也幾乎是一樣的。

而鼎盛凈化科技公司是一家集研發、設計、制造、銷售、服務及承接凈化工程的設計、施工安裝、維護一體化的專業較大規模的潔凈企業，同時售后服務有保障，另外它還提供專業的無塵車間，潔凈室，凈化車間，無塵室，潔凈棚，無塵廠房，東莞中央空調工程，東莞廠房裝修等室內凈化工程設計與安裝服務。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。

四、排除/除去

在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是**理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。

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