無塵室

       無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。就是不論外在的空氣條件如何變化，在潔凈室內都能保持之前設定的要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

       無塵室主要的作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度和溫濕度，使在無塵室內生產的產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，這樣的車間就叫作無塵車間，無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

無塵室的構成

無塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：

(1)天花板系統：包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。

(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

無塵室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；

B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性??；

D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；

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